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三氟甲烷/高純?nèi)淄?CHF3
5N氬氣/6N氬氣/Ar
六氟化硫/SF6
一氧化碳/CO
三氯化硼/BCL3
六氟化硫/高純六氟化硫/SF6
四氟化碳/CF4
氨氣/高純氨氣/NH3
硅烷/SiH4
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八氟環(huán)丁烷/高純八氟環(huán)丁烷/C4F8
三氟化氮/高純?nèi)?NF3
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