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超純氮氣/N2

發布日期：2015-12-12 12:10:00

簡要描述：

超純氮氣氣體名稱規格主要用途氣體純度%氣體裝量鋼瓶體積/L閥門型號超純氮N6.013MPa40G5/8　在電子工業中高純氮氣是半導體集成電路生產工藝不可缺少的保護氣、載氣。N6.013MPa40CGA580N6.013MPa40CGA540　純氮、高純氮、超純氮（GB/T8979-2008)項目名稱指標超純氮高純氮純氮氮氣（N2)的體積分數/10-2≥99.999999.99999.99氧氣（O2)的體積分數/10-6≤0.1350氬（Ar）的體積分數/10-6≤2——氫氣（H2)的體積分數/10-6≤0.1115一氧化碳（CO)的體積分數/10-6≤0.115二氧化碳（CO2)的體積分數/10-6≤0.1110甲烷（CH4)的體積分數/10-6≤0.115水分/10-6≤0.5315注：表中純度和含量均以體積分數表示（V/V)。

超純氮氣

氣體名稱	規格				主要用途
氣體名稱	氣體純度%	氣體裝量	鋼瓶體積/L	閥門型號	主要用途
超純氮	N6.0	13MPa	40	G5/8	在電子工業中高純氮氣是半導體集成電路生產工藝不可缺少的保護氣、載氣。
	N6.0	13MPa	40	CGA580	在電子工業中高純氮氣是半導體集成電路生產工藝不可缺少的保護氣、載氣。
	N6.0	13MPa	40	CGA540

純氮、高純氮、超純氮（GB/T8979-2008)
項目名稱	指標
項目名稱	超純氮	高純氮	純氮
氮氣（N₂)的體積分數/10^-2 ≥	99.9999	99.999	99.99
氧氣（O₂)的體積分數/10^-6 ≤	0.1	3	50
氬（Ar）的體積分數/10^-6 ≤	2	—	—
氫氣（H₂)的體積分數/10^-6 ≤	0.1	1	15
一氧化碳（CO)的體積分數/10^-6 ≤	0.1	1	5
二氧化碳（CO₂)的體積分數/10^-6 ≤	0.1	1	10
甲烷（CH₄)的體積分數/10^-6 ≤	0.1	1	5
水分/10^-6 ≤	0.5	3	15
注：表中純度和含量均以體積分數表示（V/V)。