六氟乙烷 (C2F6)
項目名稱 | 純度指標(%) | |
六氟乙烷 | ≥99.999 | |
雜質含量(ppm)
| 一氧化碳(CO) | ≤0.5 |
二氧化碳(CO2) | ≤0.5 | |
水(H2O) | ≤1.5 | |
酸度(以HF計) | ≤0.1 | |
氮氣(N2) | ≤8 | |
氧氣(O2) | ≤2 | |
其他有機物(Other Organics) | ≤0.1 |
包裝:采用40L、44L鋼瓶充裝,也可根據客戶需要分裝到2L-8L的氣瓶中。
用途: 用作絕緣氣、等離子蝕刻劑,高介電強度冷卻劑。
理化性質: 無色、無氣味、非易燃的氣體,在24.3℃以上時不能保持液態,分子量 138.0,沸 點 -78℃,熔 點 -101℃,微溶于水,穩定。
注意事項:
一、泄漏應急處理:戴自給式呼吸器,穿工作服。切斷氣源。抽排(室內)或強力通風(室外)。漏氣容器不能再用,且要經過技術處理以清除可能剩下的氣體。
二、防護措施:
呼吸系統防護:空氣中濃度較高時,應該佩戴防毒面具。緊急事態搶救或撤離時,建議佩戴自給式呼吸器。
眼睛防護:一般不需要特殊防護。
身體防護:穿工作服。
手防護:一般不需要特殊防護。
其它:避免高濃度吸入。
三、急救措施
吸入:脫離現場至空氣新鮮處。呼吸困難給輸氧。呼吸停止時,立即進行人工呼吸。就醫。
滅火方法:切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。霧狀水。