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電子混合氣

電子混合氣

發布日期:2015-06-25 17:58:00

簡要描述:

產品規格品名濃度(%)平衡氣體壓力(MPa)容積(L)閥門硅烷混合氣體0.5-50Ar、N2、He、H25-124-47可根據用戶要求提供磷烷混合氣體5ppm-23Ar、N2、He、H25-120.7-17硼烷混合氣體5ppm-10Ar、N2、He、H25-104-17砷烷混合氣體5ppm-5Ar、N2、He、H25-120.7-17硒化氫混合10ppm-5Ar、N2、He、H25-124-17乙硅烷5ppm-2Ar、N2、He、H2≥50.7-17鍺烷5ppm-0.5Ar、N2、He、H2≥50.2-17包裝:1-40(升)瓶裝,標準充裝壓力:9.5MPa,組分和濃度范圍可根據要求配制。

詳細介紹

產 品 規 格

品名濃度 (%)平衡氣體壓力(MPa)容積(L)閥門
硅烷混合氣體 0.5-50 Ar、N2、He、H2 5-12 4-47 可根據用戶要求提供
磷烷混合氣體 5ppm-23 Ar、N2、He、H2 5-12 0.7-17
硼烷混合氣體 5ppm-10 Ar、N2、He、H2 5-10 4-17
砷烷混合氣體 5ppm-5 Ar、N2、He、H2 5-12 0.7-17
硒化氫混合 10ppm-5 Ar、N2、He、H2 5-12 4-17
乙硅烷 5ppm-2 Ar、N2、He、H2 ≥5 0.7-17
鍺烷 5ppm-0.5 Ar、N2、He、H2 ≥5 0.2-17

包裝:1-40(升)瓶裝,標準充裝壓力:9.5 MPa,組分和濃度范圍可根據要求配制。


 


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